臺(tái)階儀，也稱為探針式輪廓儀或接觸式表面輪廓測量儀，主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

臺(tái)階儀的工作原理

臺(tái)階儀的核心部件是一個(gè)精密的觸針或探針，它被安裝在一個(gè)高度可調(diào)的支架上。當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí)，由于表面可能存在微小的峰谷，觸針在滑行的同時(shí)會(huì)根據(jù)表面的起伏作上下運(yùn)動(dòng)。這些上下運(yùn)動(dòng)被轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，通過精密的傳感器和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)記錄下來。

臺(tái)階儀測量膜厚的原理

臺(tái)階儀測量膜厚的原理是基于臺(tái)階高度差的變化。具體操作時(shí)，臺(tái)階儀的探針會(huì)沿著薄膜表面移動(dòng)，探針上的傳感器會(huì)記錄下探針在薄膜表面和基底表面的垂直位移變化，并通過數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)轉(zhuǎn)換成薄膜的厚度值，從而計(jì)算出薄膜厚度。

CP系列臺(tái)階儀采用LVDC電容傳感器，具有亞埃級(jí)分辨率和超微測力特點(diǎn)。在測量測薄膜厚度方面，具有以下特點(diǎn)：

1）結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)的全電動(dòng)載物臺(tái)，能夠快速定位到測量標(biāo)志位；

2）對于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測量；

3）提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能，直觀分析測量數(shù)值變化趨勢；

臺(tái)階儀測量膜厚的優(yōu)勢

1、高精度

CP系列臺(tái)階儀出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性，其分辨率可達(dá)納米級(jí)別，滿足被測件測量精度的要求。它采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，接觸力非常小，具備超高的測量精度和測量重復(fù)性，亞埃級(jí)垂直分辨率適合各類材質(zhì)、吸光特性的表面測量。

2、高效率

配備有高速數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)，采用超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，測量穩(wěn)定、便捷、高效。

3、多樣化的測量功能

除了測量膜厚，臺(tái)階儀還可以測量表面粗糙度、臺(tái)階高度等多種表面特性，具有很強(qiáng)的多功能性。

4、適應(yīng)范圍廣

臺(tái)階儀樣品適應(yīng)面廣，對測量表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求。

5、操作簡單

臺(tái)階儀配備有用戶友好的操作界面和強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理軟件，操作簡單。用戶只需將探針放置在臺(tái)階上，儀器便會(huì)自動(dòng)計(jì)算出薄膜的厚度，無需復(fù)雜的校準(zhǔn)過程。

臺(tái)階儀在膜厚測量領(lǐng)域有其優(yōu)勢，它不僅提供了高精度的測量結(jié)果，而且同時(shí)具備快速、多功能和易于操作的特點(diǎn)。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，臺(tái)階儀在材料科學(xué)和精密工程中的應(yīng)用將會(huì)更加廣泛，為薄膜材料的研究和質(zhì)量控制提供強(qiáng)有力的支持。