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SuperViewW系列3D光學(xué)輪廓儀檢測儀器0.1nm分辨率搭配0.1nm形貌重復(fù)性（STR）、0.005nm粗糙度RMS重復(fù)性，連續(xù)10次測量Sa=0.2nm硅晶片，數(shù)據(jù)偏差＜0.001nm，符合ISO 25178、ISO 10610等300余種國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)。

SuperViewW光學(xué)表面輪廓儀系統(tǒng)以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，一體化高精度測量粗糙度與輪廓度。

中圖儀器SuperViewW白光粗糙度輪廓儀基于白光干涉核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)粗糙度與輪廓度一體化高精度測量，以全場景適配、高效自動(dòng)化優(yōu)勢，成為B端企業(yè)降本增效的核心檢測裝備。

中圖儀器SuperViewW光學(xué)微觀幾何輪廓測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

中圖儀器SuperViewW非接觸式光學(xué)三維輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

?中圖3維形貌輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。SuperViewW具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。