通過對三維形貌的測量，能較為全面地評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，因為微觀表面形貌直接影響著零件的技術(shù)性能評價，所以表面三維評定參數(shù)能更全面衡量零件表面質(zhì)量，因此表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。而在三維微觀測量領(lǐng)域中，特別是在如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量高要求的領(lǐng)域中，光學(xué)三維表面形貌儀的測量精度*高。中圖儀器的SuperView W1光學(xué)三維表面形貌儀價格實惠，且測量精度可以達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)指標

光學(xué)三維表面形貌儀也叫光學(xué)干涉儀，工作原理是光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測表面反射回來，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

3D形貌地圖配合色譜圖，非常直觀，但橫向測試范圍，縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中，3D AOI（自動光學(xué)檢測）是對傳統(tǒng)精密加工上的升級，彌補了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改進設(shè)備性能以滿足各大電子廠對質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。拋開光學(xué)三維表面形貌儀價格實惠不說，基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1能以非接觸的方式，無損檢測精密機械加工表面，檢測結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示，直觀地展示了表面紋理特征。

如一款旋轉(zhuǎn)拋物面零件，用于微小位移和角度檢測，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，針對其凹面弧形的檢測需求，現(xiàn)有的顯微測量儀器中，原子力顯微鏡和共聚焦顯微鏡，均分別因有損測量或分辨率不夠的原因而排除，而以白光干涉為原理的SuperView W1光學(xué)三維表面形貌儀，能同時滿足無損、超高分辨率、耐高反等條件。

通過中圖儀器光學(xué)三維表面形貌儀對工件的三維形貌進行測量，進而確認加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性，最后可以才反過來通過指導(dǎo)加工、優(yōu)化加工工藝，以加工出高質(zhì)量的表面，確保零件使用功能的實現(xiàn)。