激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。中圖儀器SJ6000超精密激光干涉儀配備了EC20環(huán)境補償單元，由環(huán)境補償主機（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實現(xiàn)對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實時高精度檢測。

特點

1.精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2.功能廣

可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；

可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償。

3.軟件強

友好的人機界面；

豐富的應(yīng)用功能模塊；

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簡潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業(yè)專屬模板定制。

除了環(huán)境適應(yīng)能力好，SJ6000超精密激光干涉儀在動態(tài)測量軟件配合下還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。

測量機床直角

如機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標(biāo)測量機等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度，即在同一基準(zhǔn)上對兩個標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動直線度反射鏡。

測量機床垂直度

典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準(zhǔn)，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。