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當前位置:首頁產品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000國產高精度激光干涉儀
國產高精度激光干涉儀

產品簡介

SJ6000國產高精度激光干涉儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統,不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業提高設備性能,減少維護成本和停機時間,為制造業提供了一種精密的測量檢測方式。

產品型號:SJ6000
更新時間:2025-04-16
廠商性質:生產廠家
訪問量:689
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中圖儀器SJ6000國產高精度激光干涉儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優點,在機床加工領域有著廣泛的應用。


產品應用

1.測量機床導軌的直線度和平行度。

國產高精度激光干涉儀

導軌是機床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導后續的優化和調整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

國產高精度激光干涉儀

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,可以快速發現工作臺的不平整和非垂直狀態,并及時進行調整和修正,確保工件的加工精度和穩定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

國產高精度激光干涉儀

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求,從而為后續的機床調整和校準提供依據。

4.其它

除了上述應用,激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系,從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況,及時發現機床的故障和異常狀態,保證機床的穩定性和可靠性。

國產高精度激光干涉儀

對數控機床進行螺距誤差補償


SJ6000國產高精度激光干涉儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統,不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業提高設備性能,減少維護成本和停機時間,為制造業提供了一種精密的測量檢測方式。


產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

國產高精度激光干涉儀

主要鏡組圖

其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。



產品功能

(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;

(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;

(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;

(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;

(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;

(6)支持手動或自動進行環境補償。

國產高精度激光干涉儀

測量軟件

(1)友好的人機界面;

(2)豐富的應用功能模塊;

(3)向導式的操作流程;

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業專屬模板定制。


部分技術規格

穩頻精度0.05ppm
動態采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量


測量軟件

(1)友好的人機界面;

(2)豐富的應用功能模塊;

(3)向導式的操作流程;

(4)簡潔化的記錄管理;

(5)支持中文、英文和俄文界面;

(6)支持企業專屬模板定制。


懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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