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中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀性能參數Z向分辨率：0.1nm；Z向掃描范圍：10.3mm；XY水平位移臺：電動手動均可調節。有自動化功能：自動單區域測量、自動多區域測量、多區域定位自動搜索測量、自動拼接測量；防撞保護：軟件設置防撞、硬件傳感器防撞。

中圖儀器Chotest白光干涉儀SuperViewW1是利用光學干涉原理研制開發的超精細表面輪廓測量儀器，具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW1光學3D白光干涉儀?分辨率0.1μm，重復性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

SuperViewW1白光測量光學干涉儀用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中，對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可以測量可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1白光干涉顯微輪廓儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；以白光干涉技術為原理，可對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，從而實現器件表面形貌3D測量。能對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度儀用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。